[发明专利]一种薄膜超声换能器及其制备方法无效
| 申请号： | 200910238031.X | 申请日： | 2009-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101712028A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 郝震宏;乔东海 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 北京法思腾知识产权代理有限公司 11318 | 代理人： | 杨小蓉 |
| 地址： | 100190 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜超声换能器及其制备方法，该薄膜超声换能器包含电容换能器单元，所述的电容换能器单元由下至上包含电容第二电极(126)、绝缘层(125)、微气隙(130)、支撑部件(128)及压电第一电极(123)，其特征在于，该薄膜超声换能器由下至上还依次包含：位于压电第一电极(123)之上的压电层(122)、以及位于压电层(122)之上的压电第二电极(121)；所述支撑部件(128)为可弯曲的压电振动膜，其下方中心的内凹部位与所述绝缘层(125)一起形成一个封闭的微气隙空腔。本发明还提供了3种制备薄膜超声换能器的方法，由下至上依次制备各个部件，尤其提供了几种制备微气息的方式。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 超声 换能器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜超声换能器，该薄膜超声换能器包含电容换能器单元，所述的电容换能器单元由下至上包含电容第二电极(126)、绝缘层(125)、微气隙(130)、支撑部件(128)及压电第一电极(123)，其特征在于，该薄膜超声换能器由下至上还依次包含：位于压电第一电极(123)之上的压电层(122)、以及位于压电层(122)之上的压电第二电极(121)；所述支撑部件(128)为可弯曲的压电振动膜，其下方中心的内凹部位与所述绝缘层(125)一起形成一个封闭的微气隙空腔。
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