[发明专利]可控片状等离子体发生装置无效

专利信息
申请号: 200910238502.7 申请日: 2009-11-27
公开(公告)号: CN101702866A 公开(公告)日: 2010-05-05
发明(设计)人: 欧阳吉庭;王跃东;何锋 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 高燕燕;郭德忠
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种可控片状等离子体发生装置,包括气室、等离子体源、云母片、诱导阳极、负高压直流电源和正高压电源;其中气室开有出气口和进气口;等离子体源由阴极的外表面覆盖云母片后与阳极连接构成狭缝型空心结构,诱导阳极固定于气室内的等离子体源上方,并且面向等离子体源的阳极一侧,诱导阳极由导线与正高压电源的高压端相连;等离子体源的阴极与负高压直流电源的负高压端相连,阳极接地。等离子体源与诱导阳极共同构成放电系统,等离子体产生和消失由提供给诱导阳极正偏置电压的脉冲电源来控制;本发明可作为一种控制电磁波传播或电流阀的快速等离子体器件,具有结构简单、操作方便、价格低廉、体积小且易实现等优点。
搜索关键词: 可控 片状 等离子体 发生 装置
【主权项】:
可控片状等离子体发生装置,包括气室(1)、等离子体源(4)、诱导阳极(5)、云母片(10)、负高压直流电源(6)和正高压电源(7);其特征在于:气室开有出气口(2)和进气口(3);等离子体源(4)由阴极(8)的外表面覆盖云母片(4)后与阳极(9)连接构成狭缝型空心结构,狭缝宽0.1~1mm,狭缝长度与狭缝宽之比不小于5∶1;阴极(8)和阳极(9)厚度为0.3~1mm,诱导阳极(5)为金属薄板,金属薄板的长度与等离子体源(4)的狭缝长度相当,宽度为0.5~10mm,云母片(10)的厚度为0.3~1mm;其连接关系为:诱导阳极(5)固定于气室(1)内的等离子体源(4)上方,并且面向等离子体源(4)的阳极(9)一侧,诱导阳极(5)由导线与正高压电源(7)的高压端相连;等离子体源的阴极(8)与负高压直流电源(6)的负高压端相连,阳极(9)接地。
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