[发明专利]一种变包含角单色器的光谱标定方法

摘要

本发明公开了一种变包含角单色器的光谱标定方法，在所述出光狭缝后设置一电离室以采集该电离室中工作气体的特征吸收谱；固定所述变包含角单色器的包含角，转动光栅直至所述电离室采集到该工作气体的指定吸收谱线，记录相应吸收谱线下所述变包含角单色器的光栅位置x以及所述变包含角单色器对应当前包含角的平面镜位置y；改变所述变包含角单色器的包含角，重复执行上述步骤并线性拟合获得数据，完成变包含角单色器参数的反向测定；对于波长为λ的单色光，根据变线聚光栅聚焦方程和反向测定结果，计算实际的光栅位置x和平面镜位置y。本发明能够实现变包含角单色器光谱的在线整体标定，且标定准确，简单易行。

主权项

一种变包含角单色器的光谱标定方法，适用于由入光狭缝、球面镜、平面镜、变线距光栅以及出光狭缝构成的变包含角单色器；其特征在于，在所述出光狭缝后设置一电离室以采集该电离室中工作气体的特征吸收谱；在选择一种所述电离室的工作气体后执行以下步骤：步骤S11：固定所述变包含角单色器的包含角，转动光栅直至所述电离室采集到该工作气体的指定吸收谱线，记录相应吸收谱线下所述变包含角单色器的光栅位置x以及所述变包含角单色器对应当前包含角的平面镜位置y；步骤S12：改变所述变包含角单色器的包含角，重复执行上述步骤S11；对于上述步骤获得的数据，执行以下步骤：步骤S21：根据光栅和光栅正弦推杆的关系式x＝X0-TX sin(γ+β)，线性拟合光栅打平位置X0和光栅正弦推杆长度TX，根据平面镜和平面镜正弦推杆的关系式y＝Y0+TY sin(Θ-γ)，线性拟合平面镜打平位置Y0和平面镜正弦推杆长度TY，完成变包含角单色器参数的反向测定；其中，β为衍射角，γ为光栅打平时法线方向和出射光线方向的夹角，2Θ为光栅包含角；步骤S22：对于波长为λ的单色光，根据变线聚光栅聚焦方程和反向测定结果，计算实际的光栅位置x和平面镜位置y，完成对所述变包含角单色器中波长为λ的单色光光谱的标定。