[发明专利]一种用于振动检测的调制解调系统及方法无效
| 申请号： | 200910241696.6 | 申请日： | 2009-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN101706317A | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 李丽艳;曾华林;周燕;何军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及振动检测技术领域，公开了一种用于振动检测的调制解调系统及方法。该系统包括振动测量的光路系统部分和后期振动信号解调部分，利用该振动测量的光路系统部分中的PZT驱动电源对PZT产生的固定角频率ω0振动，从而实现对参考光进行相位调制，调制后的参考光与载有振动信息的信号光发生拍频，通过后期振动信号解调部分对拍频信号的解调来检测物体表面的微小振动。利用本发明提供的这种用于振动检测的调制解调系统及方法，光路结构简单，利用了PZT的振动产生一个固有的相位调制，后期通过相位解调，可以检测出物体表面的微小振动，此方法具有高精度、非接触、频率响应快等显著特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 振动 检测 调制 解调 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于振动检测的调制解调系统，其特征在于，该系统包括振动测量的光路系统部分和后期振动信号解调部分，利用该振动测量的光路系统部分中的PZT驱动电源对PZT产生的固定角频率ω0振动，从而实现对参考光进行相位调制，调制后的参考光与载有振动信息的信号光发生拍频，通过该后期振动信号解调部分对拍频信号的解调来检测物体表面的微小振动。
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