[发明专利]一种无水氟化氢气体中粉尘颗粒的脱除方法无效
| 申请号： | 200910242208.3 | 申请日： | 2009-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101723329A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 孙继红;何玮;王丽娟 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种无水氟化氢气体中粉尘颗粒的脱除方法属于化工技术领域。首先无机氟化物与酸反应得到无水氟化氢气体，随即通过有机-无机杂化膜；该有机-无机杂化膜，孔径小于1μm和耐温性在20℃-120℃，同时具有耐氢氟酸腐蚀，负压：1000-3000Pa条件，比表面积大于180m2/g；脱除无水氟化氢气体中亚微米或纳米级以下的粉尘颗粒，使得无水氟化氢气体中在常温常压下粉尘颗粒含量小于5g/m3。使得无水氟化氢气体中在常温常压下粉尘颗粒含量小于5g/m3，所脱除的亚微米或纳米级以下的粉尘颗粒尺寸在200nm-500nm之间，其成份主要由氟，硅，磷，铁，硫，氧等组成。本发明工艺过程简单，操作容易控制，能耗低，且易于满足工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无水 氟化氢 气体 粉尘 颗粒 脱除 方法 | ||
【主权项】：
一种无水氟化氢气体中粉尘颗粒的脱除方法，其特征在于：首先无机氟化物与酸反应得到无水氟化氢气体，随即通过有机-无机杂化膜；该有机-无机杂化膜，孔径小于1μm和耐温性在20℃-120℃，同时具有耐氢氟酸腐蚀，负压：1000-3000Pa条件，比表面积大于180m2/g；脱除无水氟化氢气体中亚微米或纳米级以下的粉尘颗粒，使得无水氟化氢气体中在常温常压下粉尘颗粒含量小于5g/m3。
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