[发明专利]一种基于氧化锌纳米线的温度传感器无效
申请号: | 200910242243.5 | 申请日: | 2009-12-10 |
公开(公告)号: | CN101793568A | 公开(公告)日: | 2010-08-04 |
发明(设计)人: | 师文生;王耀;佘广为 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | G01K7/16 | 分类号: | G01K7/16 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 成金玉;卢纪 |
地址: | 100080 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种基于氧化锌纳米线的温度传感器件,属于纳米材料应用技术领域。本发明的温度传感器的敏感元件为氧化锌纳米线,直径为60-500纳米,长度为3-50微米。将单根氧化锌纳米线固定在微电极上,外电路连接电学测量仪器。环境温度的变化会引起氧化锌纳米线电导率的响应,由电学测量仪器获得的电信号来确定环境温度,从而达到测量温度的目的。本发明具有体积小、温度测量范围宽、热容量小、响应速度快、成本低等特点,特别适用于芯片控温等对温度响应速度要求比较高且对传感器体积要求比较小的条件下的温度测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 氧化锌 纳米 温度传感器 | ||
【主权项】:
一种基于氧化锌纳米线的温度传感器,其特征在于:以氧化锌纳米线作为温度敏感元件,将单根氧化锌纳米线固定在微电极上,所述的单根氧化锌纳米线的直径为60-500nm,长度为3-50μm,所述固定在微电极上的方法为在单根氧化锌纳米线两端通以0.1-10V,50-1000Hz的脉冲电压使其与微电极牢固接触;微电极与外电路的电学测量仪器连接,环境温度的改变引起氧化锌纳米线电导率相应响应,由电学测量仪器测得的电学信号来确定温度。
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