[发明专利]一种基片处理系统及其机械手臂装置有效
| 申请号： | 200910242381.3 | 申请日： | 2009-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN102092045A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 周卫国;赵梦欣 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波;逯长明 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机械手臂装置，其第一双摇杆机构的第一摇杆(21)和第二双摇杆机构的第三摇杆(23)均以其第一端铰接于基础部分(0)；第二摇杆(22)和第四摇杆(24)分别以其第一端相对应地铰接于所述第一摇杆(21)的第二端和所述第三摇杆(23)的第二端；所述第一摇杆(21)和所述第三摇杆(23)在驱动部件的作用下绕其各自的第一端旋转时，所述第二摇杆(22)和所述第四摇杆(24)均带动手臂本体(3)沿第一滑轨(41)滑动；所述第二摇杆(22)与所述第四摇杆(24)形成适当的夹角。这样，在装置的工作过程中，两双摇杆机构不同时到达死点位置，从而提高了装置的传动可靠性。本发明还公开了一种包括上述机械手臂装置的基片处理系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 处理 系统 及其 机械 手臂 装置 | ||
【主权项】：
一种机械手臂装置，其特征在于，包括具有第一摇杆(21)和第二摇杆(22)的第一双摇杆机构，以及具有第三摇杆(23)和第四摇杆(24)的第二双摇杆机构；所述第一摇杆(21)和所述第三摇杆(23)均以其第一端铰接于该机械手臂装置的基础部分(0)；所述第二摇杆(22)和所述第四摇杆(24)分别以其第一端相对应地铰接于所述第一摇杆(21)的第二端和所述第三摇杆(23)的第二端；所述第一摇杆(21)和所述第三摇杆(23)在驱动部件的作用下绕其各自的第一端旋转时，所述第二摇杆(22)和所述第四摇杆(24)均带动手臂本体(3)沿第一滑轨(41)滑动；所述第二摇杆(22)与所述第四摇杆(24)形成适当的夹角。
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