[发明专利]一种“反钙钛矿”结构的三元锰氮化物Mn3CuN薄膜无效
| 申请号： | 200910242690.0 | 申请日： | 2009-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN101734863A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王聪;孙莹;纳元元;褚立华;温永春;聂曼 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | C03C17/09 | 分类号： | C03C17/09;C01G45/00 |
| 代理公司： | 北京慧泉知识产权代理有限公司 11232 | 代理人： | 王顺荣;唐爱华 |
| 地址： | 100083 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种“反钙钛矿”结构的三元锰氮化物Mn3CuN薄膜，它是由Mn，Cu，N三种元素组成，其原子配比为3∶1∶1，晶体结构为反钙钛矿立方结构。本发明是利用直流磁控溅射法沉积Mn3CuN薄膜，靶材采用锰靶，将若干铜片均匀地分布在锰靶表面；该方法步骤如下：(1)基片的准备：将石英玻璃基片先在丙酮中超声清洗30分钟，然后在去离子水中超声清洗30分钟，最后用无水乙醇超声清洗30分钟，得到备用的石英玻璃基片；(2)抽真空：打开溅射成膜腔，把装有基片的样品托装在样品架上，关闭溅射成膜腔，抽真空到1×10-4Pa；(3)沉积薄膜：通过质量流量计在真空镀膜室中通入氩气和氮气，设定各项参数后，预溅射20～50分钟，然后开始在石英玻璃基片上沉积Mn3CuN薄膜。工艺简单成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反钙钛矿 结构 三元 氮化物 mn sub cun 薄膜 | ||
【主权项】：
一种“反钙钛矿”结构的三元锰氮化物Mn3CuN薄膜，其特征在于：它是由Mn，Cu，N三种元素组成，其原子配比为3∶1∶1，晶体结构为反钙钛矿立方结构。
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