[发明专利]一种H型二维超精密工作台结构

摘要

一种H型超精密工作台结构属于精密测量、超精密加工、微型机械和纳米等领域。它的X轴滑块环抱在X轴导轨上；X轴导轨的两端固定在两条Y轴滑块上；Y轴滑块环抱在Y轴导轨上；Y轴导轨通过导轨垫固定在基座上；其特征在于：X轴滑块和Y轴滑块都设计为对称的封闭式结构，且与基座的上表面间维持固定的压缩气体气膜间隙；X轴导轨上表面与X轴滑块内上表面间间隙不小于X轴导轨因自身重量导致的变形量，X轴导轨下表面与X轴滑块内下表面间间隙不小于X轴导轨因自身重量导致的变形量；Y轴导轨设计同X轴导轨。这种结构提高了导轨的导向精度和工作台结构的稳定性，X轴和Y轴定位精度互不影响，避免了误差叠加效应；系统刚度高，精度保持性好。

主权项

一种H型二维超精密工作台结构，X轴滑块环抱在X轴导轨上；X轴导轨的两端固定在两条Y轴滑块上；Y轴滑块环抱在Y轴导轨上；Y轴导轨通过导轨垫固定在基座上；X轴滑块的两内侧面有压缩气体气流小孔，X轴导轨的两侧面与X轴滑块的两内侧面间维持固定的气膜间隙；Y轴滑块的两内侧面有压缩气体气流小孔，Y轴导轨的两侧面与Y轴滑块的两内侧面间维持固定的气膜间隙；X轴滑块的下底面有压缩气体气流小孔、真空腔、真空吸附气流孔，Y轴滑块的下底面有压缩气体气流小孔、真空腔、真空吸附气流孔；其特征在于：X轴滑块和Y轴滑块都设计为对称的封闭式结构，X轴滑块和Y轴滑块都与基座的上表面间维持固定的压缩气体气膜间隙；X轴导轨上表面与X轴滑块内上表面间间隙不小于X轴导轨因自身重量导致的变形量，X轴导轨下表面与X轴滑块内下表面间间隙不小于X轴导轨因自身重量导致的变形量；Y轴导轨上表面与Y轴滑块的内上表面间间隙不小于Y轴导轨因自身重量和X轴导轨重量导致的变形量之和，Y轴导轨下表面与Y轴滑块的内下表面间隙不小于Y轴导轨因自身重量和X轴导轨重量导致的变形量之和。