[发明专利]多级降压收集极用多孔金属电极无效
申请号: | 200910244509.X | 申请日: | 2009-12-30 |
公开(公告)号: | CN102117724A | 公开(公告)日: | 2011-07-06 |
发明(设计)人: | 王自成;刘燕文 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电子学研究所 |
主分类号: | H01J23/027 | 分类号: | H01J23/027;H01J25/34 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周长兴 |
地址: | 100080 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种多级降压收集极用多孔金属电极,是利用电火花线切割方法、电火花腐蚀方法或离子轰击方法加工多孔金属材料表面,使多孔金属材料的表面产生坑凹。多孔金属材料为多孔镍、多孔钨或多孔钼材料,孔度为20%~40%。本发明采用金属制造多级降压收集极的电极,使得多级降压收集极表面出现多坑凹形貌,从而抑制了二次电子的发射,提高了多级降压收集极的效率。 | ||
搜索关键词: | 多级 降压 收集 多孔 金属电极 | ||
【主权项】:
一种多级降压收集极用多孔金属电极,是利用电火花线切割方法、电火花腐蚀方法或离子轰击方法加工多孔金属材料表面,使多孔金属材料的表面产生坑凹。
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