[发明专利]光子晶体可调谐边发射激光器及其制作方法无效
申请号: | 200910244533.3 | 申请日: | 2009-12-30 |
公开(公告)号: | CN101771240A | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
发明(设计)人: | 郑婉华;邢名欣;陈微;周文君;刘安金 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/20 | 分类号: | H01S5/20;H01S5/06;H01S5/04;H01S5/30 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种光子晶体可调谐边发射激光器及其制作方法,该方法包括:在半导体材料上制作一二维半导体光子晶体波导;利用低群速度的导波模式使得光波在光子晶体波导内形成共振;调整光子晶体波导最近邻空气孔半径的大小,从而使得导波能带带边的频率位置发生变化;光子晶体的低群速度导波模式的共振频率发生变化;泵浦光子晶体波导不同的位置,不同波长的增益得到增强,获得边发射光子晶体激光的可调谐输出。该光子晶体可调谐边发射激光器包括:一二维薄板结构的光子晶体边发射可调谐激光器;和一用于泵浦所述激光器的泵浦源。本发明提供的光子晶体可调谐边发射激光器易于集成,并且可以作为未来微纳尺寸集成光路的光源,且实施简便,成本低。 | ||
搜索关键词: | 光子 晶体 调谐 发射 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种光子晶体可调谐边发射激光器,其特征在于,包括:一光子晶体激光器;以及一用于泵浦所述光子晶体激光器的泵浦源。
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