[发明专利]真空腔体隔离机构在审
| 申请号： | 200910246913.0 | 申请日： | 2009-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN101812670A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 杨明生;刘惠森;范继良;王伟;郭远伦;王曼媛;王勇 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523018 广东省东莞南城区宏*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空腔体隔离机构，适用于对提供真空镀膜的真空腔体内的处理板及蒸发源进行隔离，包括挡盖及控制机构，所述控制机构包括推动轴、推动板及直线驱动装置，所述推动轴的一端密封地穿入所述真空腔体内腔壁并与所述挡盖固定连接，所述挡盖容置于所述真空腔体内且位于真空腔体内的蒸发源与处理板之间，所述推动轴的另一端与所述推动板固定连接，所述推动板位于所述真空腔体外，所述直线驱动装置安装于所述真空腔体的腔壁上并位于所述真空腔体外且其输出轴与所述推动板固定连接且相互垂直，本发明真空腔体隔离机构能最大限度地提高有机发光二极管基片镀膜层的均匀性及纯净性，使基片镀膜层的品质得到了极大的提高，延长了基片的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 隔离 机构 | ||
【主权项】：
一种真空腔体隔离机构，适用于对提供真空镀膜的真空腔体内的处理板及蒸发源进行隔离，所述真空腔体隔离机构包括挡盖及控制机构，所述控制机构包括推动轴、推动板及直线驱动装置，所述推动轴的一端密封地穿入所述真空腔体内腔壁并与所述挡盖固定连接，所述挡盖容置于所述真空腔体内且位于真空腔体内的蒸发源与处理板之间，所述推动轴的另一端与所述推动板固定连接，所述推动板位于所述真空腔体外，所述直线驱动装置安装于所述真空腔体的腔壁上并位于所述真空腔体外，所述直线驱动装置的输出轴与所述推动板固定连接且相互垂直，所述直线驱动装置做直线往复运动并驱动所述挡盖隔离或开通所述蒸发源与所述处理板的空间连接。
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