[发明专利]一种获得生产线新产品基准产品良率方法

摘要

本发明提出一种获得生产线新产品基准产品良率的方法，通过引入良率筛选，误宰率补偿，缺陷密度修正系数，代入缺陷密度公式，得到缺陷密度修正公式，计算得到生产线的固有缺陷密度，进而能够准确获得生产线上新产品基准产品良率。

主权项

一种获得生产线新产品基准产品良率的方法，该方法包括：随机挑选生产线上生产的若干晶圆，所述晶圆具有同种芯片；对所述晶圆进行晶圆一致性筛选，计算一次修正后的产品良率Yield’；对所述产品良率Yield’进行非缺陷失效的修正，计算二次修正后的产品良率Yield′+ΔYield；由Yield′+ΔYield＝1/(1+A·D0)α计算所述生产线的固有缺陷密度D0，其中，Yield′+ΔYield是(1+A·D0)的α次幂的倒数，α是所述同种芯片制造过程的复杂度系数，A是所述同种芯片的面积；由Yield‑new＝1/(1+A1·D0)α1获得生产线新产品基准产品良率Yield‑new，其中，新产品基准产品良率Yield‑new是(1+A1·D0)的α1次幂的倒数，α1是新产品芯片制造过程的复杂度系数，A1是新产品芯片的面积。