[发明专利]一种直径大于300mm的陶瓷真空管钎焊工艺及装置

摘要

本发明提供了一种直径大于300mm的陶瓷真空管钎焊工艺及装置，其步骤为先对陶瓷管道和钛环进行清洗，随后垂直掉入真空炉中，在真空条件下升温焊接，焊接完毕后冲保护气体出炉，便完成了两个陶瓷真空管的对焊。本发明提供的装置由第一级的机械式旋片泵，第二级的罗茨泵，第三级的油扩散泵构成，各级泵进行串联布置，在装置上还配有向炉中输送高纯惰性气体(如氮气和氩气)的管路。本发明的优点在于提供了一种直径大于300mm的陶瓷真空管钎焊工艺及装置，并且焊接后的陶瓷管道焊缝处真空漏率小于5*10-12Pa.M3/s，在陶瓷管道上无任何裂纹。

主权项

一种直径大于300mm的陶瓷真空管钎焊工艺，其步骤为：步骤1、对已经金属化的陶瓷管道进行清洗，除去表面的污物，对陶瓷管道的焊接表面在100～120℃下干燥处理5～10分钟；步骤2、用强酸清洗钛环表面，并在100～120℃下干燥处理5～10分钟，其特征在于，步骤3、将清洗后的陶瓷管道及钛环装入工装夹具中，两根陶瓷管道之间放置一个钛环，对陶瓷管道和钛环进行固定，并在陶瓷管道与钛环的对接处配好钎焊料，再将工装以悬空的方式吊入真空炉中；步骤4、对真空炉抽真空直至真空不大于10-3Pa后开始加热，升温至490～510℃，保温15～25分钟，再升温至848～852℃，确认焊料熔化后保温15～25分钟，再自然冷却致140～160℃，冲惰性气体，出炉。