[发明专利]一种用于氨热法生长氮化物的反应装置有效

专利信息
申请号: 200910247539.6 申请日: 2009-12-30
公开(公告)号: CN101760772A 公开(公告)日: 2010-06-30
发明(设计)人: 任国强;王建峰;徐科;张永红;杨辉 申请(专利权)人: 苏州纳维科技有限公司
主分类号: C30B9/06 分类号: C30B9/06;C30B29/38
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 翟羽
地址: 215125 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种用于氨热法生长氮化物的反应装置,包括反应釜、加热装置、氮化物籽晶和前驱体,所述加热装置包括热源与控制器,其中热源用于提高反应釜内的温度,控制器用于控制热源的温度,所述热源设置在反应釜内,并与反应釜的侧壁分离;所述氮化物籽晶在热源的周围,或者固定在热源的表面。所述前驱体位于反应釜内壁的表面。本发明的优点在于,通过调整反应釜中热源和籽晶的设置方式,在反应釜内获得一个从中心向四周分布的温度梯度场,而籽晶恰好在该温度梯度场中温度最高的地方。由于氮化物在碱性矿化剂的液氨溶液中溶解度温度系数为负值,易在高温区析出,因此上述设置有利用氮化物在籽晶表面成核生长,而避免在反应釜侧壁上成核结晶,从而提高氨热法的反应速度。
搜索关键词: 一种 用于 氨热法 生长 氮化物 反应 装置
【主权项】:
一种用于氨热法生长氮化物的反应装置,包括反应釜、加热装置、氮化物籽晶和前驱体,所述加热装置包括热源与控制器,其中热源用于提高反应釜内的温度,控制器用于控制热源的温度,其特征在于:所述热源设置在反应釜内,并与反应釜的侧壁分离;所述氮化物籽晶固定在热源的表面;所述前驱体位于反应釜内壁的表面。
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