[发明专利]一种无水氟化氢气体的净化系统无效
| 申请号： | 200910250320.1 | 申请日： | 2009-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101700875A | 公开（公告）日： | 2010-05-05 |
| 发明（设计）人： | 孙继红;何玮;王丽娟 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19;B01D46/54 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种无水氟化氢气体的净化系统属于化工领域。该净化系统包括进气管道、出气管道、净化塔、粉尘收集装置以及反吹装置；进气管道位于净化塔的下半部，出气管道位于净化塔的上半部；净化塔中放置能耐温度：20-100℃和耐负压：1000-3000MPa的膜材料，膜材料孔径小于1μm，同时，该膜材料具有耐氢氟酸腐蚀，所有膜材料总比表面积大于180m2/g；收集装置上端与净化塔底部相连接；反吹装置位于净化塔上半部或顶部，一端与净化塔相连，另一端与空压机相连。该净化系统成本低，技术参数易控制，工况操作方便，安全环保，可规模化连续生产等优点。使用该系统后，无水氟化氢气体中在常温常压下粉尘颗粒含量小于5g/m3，脱除的粉尘颗粒尺寸在200nm-500nm之间，主要由氟，硅，磷，铁，硫，氧等组成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无水 氟化氢 气体 净化系统 | ||
【主权项】：
一种无水氟化氢气体的净化系统，其特征在于：该净化系统包括进气管道、出气管道、净化塔、粉尘收集装置以及反吹装置；进气管道位于净化塔的下半部，出气管道位于净化塔的上半部；净化塔中放置能耐温度：20-100℃和耐负压：1000-3000MPa的膜材料，膜材料孔径小于1μm，同时，该膜材料具有耐氢氟酸腐蚀，所有膜材料总比表面积大于180m2/g；收集装置上端与净化塔底部相连接；反吹装置位于净化塔上半部或顶部，一端与净化塔相连，另一端与空压机相连。
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