[发明专利]一种可调整入射离子能量、实时监测离子通量的控温样品座

摘要

本发明提供的一种可调整入射离子能量、实时监测离子通量的控温样品座，通过绝缘主动冷却样品座和绝缘样品的双重绝缘设计、通过铠装热电偶包套施加负偏压和实时监测离子通量的设计、以及被动式温度调整垫片的使用；主动冷却样品座与热电偶包套都有独立的电源用以调整到达离子的能量并实时测量打到样品有效面积上的总通量，并可通过调整绝缘温控片的厚度与冷却介质种类和流量调整实验过程中的样品温度。该设计既可以保证实验过程中直接准确读出打到样品有效面积上的离子通量而不需要探针等其他辅助手段，同时还可进行不同入射能量和样品温度下的样品辐照实验。

主权项

一种可调整入射离子能量、实时监测离子通量的控温样品座，其特征在于：具有一样品座基座，样品座基座内部有空腔，空腔与供冷却介质进、出的冷却管道联通，冷却管道与样品座基座间绝缘；样品座基座上端通过螺栓安装有压盖，压盖中部有开孔，压盖与样品座基座之间的空间内、样品座基座上方安装有中央开孔的样品绝缘套，样品绝缘套上方安装有环形挡板，环形挡板位于压盖下表面和样品绝缘套上表面之间，与两者均紧密接触；样品座基座中部有通孔，所述的通孔穿过所述的样品座基座内部的空腔，通孔中安装有铠装热电偶，铠装热电偶外套装有热电偶绝缘套，热电偶绝缘套与样品座基座紧密接触，铠装热电偶上端依次穿过绝缘温控片，绝缘温控片上端的导电片，导电片上表面与样品绝缘套之间夹装放置样品，铠装热电偶上端顶在样品下方，所述绝缘温控片和导电片均位于样品绝缘套内，等离子体经过压盖、环形挡板、样品绝缘套中央的开孔照射到样品上；所述冷却管道和铠装热电偶均外接有独立的电源。