[发明专利]质量流量控制器有效
| 申请号： | 200910258576.7 | 申请日： | 2009-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN102096420A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 高桥明人;古川幸正;田中祐纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明使质量流量控制器的PI性能提高。在质量流量控制器中，基于一次侧压力、该一次侧压力的经时性变化量以及流量设定值中的至少两个，来对稳定状态下的用于PID运算中的比例系数、积分系数以及微分系数进行变更。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 流量 控制器 | ||
【主权项】：
一种质量流量控制器，其特征在于包括：流量传感器部，对在流路内流动的流体的流量进行测定，并输出表示该流量的测定值的流量测定信号；流量控制阀，设置在所述流量传感器部的上游侧或下游侧；计算部，由所述流量测定信号表示的流量测定值与目标值即流量设定值的偏差实施PID运算，以计算出输出至流量控制阀的反馈控制值；以及开度控制信号输出部，基于所述反馈控制值而产生开度控制信号，并输出至流量控制阀；所述计算部基于一次侧压力、该一次侧压力的经时性变化量以及所述流量设定值中的至少两个，来对稳定状态下的用于PID运算中的比例系数、积分系数以及微分系数进行变更。
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