[发明专利]一种三氯氢硅合成尾气的处理方法及装置有效
| 申请号： | 200910260581.1 | 申请日： | 2009-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102100998A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 周强民 | 申请（专利权）人： | 重庆大全新能源有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/14 | 分类号： | B01D53/14;C01B33/107;C01B7/01 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波;逯长明 |
| 地址： | 404000 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明提供一种三氯氢硅合成尾气的处理方法，包括：使用氯硅烷吸收制备三氯氢硅产生的合成尾气得到氯硅烷吸收液，所述合成尾气包括HCl、SiHCl3、SiCl4、H2、硅粉尘和高沸物粉尘；加热所述氯硅烷吸收液到90℃～150℃；分别回收加热所述氯硅烷吸收液得到的气体混合物和固体混合物。本发明还提供了一种三氯氢硅合成尾气的处理装置，包括：加热装置，所述加热装置包括带有加热夹套的壳体，所述壳体上设置有进料口、气体出料口和固体出料口。本发明提供的三氯氢硅合成尾气的处理方法及装置回收湿法处理后氯硅烷吸收液中的HCl、SiHCl3、SiCl4、H2、硅粉尘和高沸物，节约了原料，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 合成 尾气 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅合成尾气的处理方法，包括：使用氯硅烷吸收制备三氯氢硅产生的合成尾气得到氯硅烷吸收液，所述合成尾气包括HCl、SiHCl3、SiCl4、H2、硅粉尘和高沸物粉尘；加热所述氯硅烷吸收液到90℃～150℃；分别回收加热所述氯硅烷吸收液得到的气体混合物和固体混合物。
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