[发明专利]质量流量计及质量流量控制器有效
| 申请号： | 200910262030.9 | 申请日： | 2009-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN101762299A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 矶部泰弘;堀之内修;田中祐纪;山口正男;古川幸正 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G01F1/86 | 分类号： | G01F1/86;G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于使质量流量计的测量精度提高。一种质量流量计包括：流量计算部42，获取来自传感器部411、412的输出信号并计算出样品气体G的流量Qraw，所述传感器部411、412具有设置在所述样品气体G所流经的流路2中的热敏电阻器41a、41b；压力测量部43，对所述流路2中的一次侧压力Pin进行测量；以及流量修正部44，使用由所述压力测量部43而获得的一次侧压力Pin、及由所述样品气体G的定压比热CP所决定的气体系数α，来对由所述流量计算部42而获得的测量流量Qraw进行修正。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 流量计 流量 控制器 | ||
【主权项】：
一种质量流量计，包括：流量计算部，获取来自传感器部的输出信号并计算出样品气体的测量流量，所述传感器部具有设置在所述样品气体所流经的流路中的热敏电阻器；压力测量部，对所述流路中的一次侧压力进行测量；以及流量修正部，使用由所述压力测量部而获得的一次侧压力、及由所述样品气体所决定的气体系数，来对由所述流量计算部而获得的测量流量进行修正，所述流量修正部根据下述数学式来计算出修正后的流量Qoffset：[数学式8] Q offset = Q raw × [ 1 - { ( a × Q raw + b ) × P in - P base P in ( 0 ) - P base } ] 其中，Pin为一次侧压力，Pbase为预先设定的基准压力，常数a、b为由样品气体的气体物性值及一次侧压力所决定的值，Pin(0)为求出常数a、b时的一次侧压力。
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