[发明专利]离子管有效
| 申请号： | 200910262401.3 | 申请日： | 2009-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101764020A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 长田佑介;盐野忠久 | 申请（专利权）人： | 株式会社昭和真空 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 谢丽娜;关兆辉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种排列有多个离子束引出孔的离子管，使得离子束电流密度变得均匀。该离子管具有由阴极(10)和阳极(20)构成的等离子体生成构件，以及从由等离子体生成构件生成的等离子体中引出离子束的栅极(30)，阴极由架设于一对丝电极(13)之间的丝极(12)构成，栅极具有平行地排列在丝极上的多个离子束引出孔(31)，包含该丝极的两端部(12a)的单位空间内的发热量比包含该丝极的中央部(12b)的单位空间内的发热量大。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 | ||
【主权项】：
一种离子管，具有由阴极(10)和阳极(20)构成的等离子体生成构件，以及从由该等离子体生成构件生成的等离子体中引出离子束的栅极(30)，其特征在于，该阴极由架设于一对丝电极之间的丝极(12)构成，该栅极具有平行地排列在该丝极上的多个离子束引出孔(31)，包含该丝极的两端部(12a)的单位空间内的发热量比包含该丝极的中央部(12b)的单位空间内的发热量大。
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