[发明专利]复合分子泵的牵引抽气盘无效
| 申请号： | 200910263575.1 | 申请日： | 2009-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN101709715A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 刘安良;唐洪;范林东;靳毅;李金鑫 | 申请（专利权）人： | 成都南光机器有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/00 | 分类号： | F04D29/00;F04D19/04 |
| 代理公司： | 成都立信专利事务所有限公司 51100 | 代理人： | 冯忠亮 |
| 地址： | 610100 四川省成都市成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明为复合分子泵的牵引抽气盘，解决已有抽气盘抽气槽形状复杂，加工困难，抽气槽当量通道长度短，抽气性能差的问题。圆环形盘体的上面或/和下面有环形抽气槽(1)，抽气槽的底壁有通孔(2)，有隔片(3)将环形抽气槽截断，至少一条抽气槽隔断，隔片(3)的一侧的抽气槽外壁侧有缺口(4)。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 分子 牵引 抽气盘 | ||
【主权项】：
复合分子泵的牵引抽气盘，其特征在于圆环形盘体的上面或/和下面有环形抽气槽(1)，抽气槽的底壁有通孔(2)，有隔片(3)将环形抽气槽截断，至少一条抽气槽的隔片(3)的一侧的抽气槽外侧壁有缺口(4)。
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