[发明专利]一种多晶硅硅棒的制造方法无效
| 申请号： | 200910264201.1 | 申请日： | 2009-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN101759185A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 钟真武;陈其国 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅硅棒的制造方法，所述方法包括使含硅气体和氢气在表面温度为1000-1150℃的螺旋形硅芯表面沉积并制取多晶硅棒的方法，该方法与现有采用细直硅芯的制造方法相比，具有提高表面积，增加沉积速度，充分利用热辐射，降低还原直接电耗的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅硅棒 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅硅棒的制造方法，所述的方法包括使含硅气体和氢气在炽热的硅芯表面(温度为1000-1150℃)还原，硅沉积在炽热的硅芯表面，随着硅的沉积，硅芯直径逐渐长大，形成多晶硅硅棒。
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