[发明专利]一种高效柱状薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高效柱状薄膜太阳能电池，包括衬底，衬底上为TCO薄膜层，第一TCO薄膜层上为二氧化硅填充层，二氧化硅填充层内间隔设置柱状金属层，金属层上为柱状半导体层，所述金属层和半导体构成肖特基接触层，所述二氧化硅填充层高度大于金属层高度，小于等于柱状金属层和半导体层总高度；二氧化硅层上为第二TCO薄膜层。本发明还公开了其制备方法，包括采用溅射技术在衬底上镀上TCO层，在其上溅射金属层，沉积非晶硅层，诱导非晶硅变多晶硅，沉积上二氧化硅层，再制做背电极。本发明较之前的薄膜太阳能电池具有较高的光电转化效率，具有成本低，无毒，无污染等特性。

主权项

一种高效柱状薄膜太阳能电池，其特征在于，包括衬底，衬底上为TCO薄膜层构成背电极，第一TCO薄膜层上为二氧化硅填充层，二氧化硅填充层内间隔设置柱状金属层，金属层上为柱状半导体层，所述金属层和半导体构成肖特基接触层，所述二氧化硅填充层高度大于金属层高度，小于等于柱状金属层和半导体层总高度；二氧化硅层上为第二TCO薄膜层构成前电极。