[发明专利]微型质谱仪中空心阴极放电真空紫外光电离源

摘要

本发明公开了一种微型质谱仪中空心阴极放电真空紫外光电离源，电离室中以圆筒状电极作为空心放电阴极，以金属圆状电极作为放电的阳极，电离得到的离子通过离子漏斗直接引入到质谱分析器。放电区冲入惰性气体，保持放电区处于50～200Pa之间，空心阴极放电区域末端及空心阴极末端使用了氟化镁玻璃有效透过真空紫外光。离子漏斗区直接与放电发光区相接，样品从放电区后端进入，在离子漏斗区里面电离，电离得到的离子直接通过离子漏斗压缩进入到质谱分析器。空心阴极放电产生的大光斑紫外光束可以在大范围内电离样品，而离子漏斗可以现在空间内离子的缩束聚焦，两者结合，可以有效提高光子利用率，增强仪器灵敏度。

主权项

微型质谱仪中空心阴极放电真空紫外光电离源，包括电离室，其特征在于：电离室中部设置有圆筒状电极作为空心放电阴极，在放电阴极上方设置有金属圆环、圆盘、或圆筒状电极作为放电阳极，放电阴极与放电阳极间留有间隙，在放电阴极的下方设置有平板状推斥电极，推斥电极中部设置有孔，在孔的下方设置有氧化镁玻璃，由推斥电极和氧化镁玻璃将电离室分隔成二个腔体，上部腔体和下部腔体；在下部腔体中氧化镁玻璃的正下方设置有离子漏斗，离子漏斗下方腔体壁面上设置有出口，电离得到的离子通过离子漏斗直接引入到质谱分析器；在离子漏斗上方、下部腔体的侧壁上设置有样品进气口；在上部腔体的侧壁上设置有放电气体进口和出口。