[发明专利]实时监测膜厚变化的镀膜设备及其方法

摘要

一种膜厚变化的实时监测方法，包括：提供镀膜模块及膜厚监测模块，其中，镀膜模块具有腔室，膜厚监测模块包括表面等离子体共振光纤感测组件、光源组件、光接收检测组件及光纤，光纤连接光源组件、表面等离子体共振光纤感测组件以及光接收检测组件，表面等离子体共振光纤感测组件具有感测区且设置于镀膜模块的腔室内，且光源组件提供光线给表面等离子体共振光纤感测组件；将基材置入腔室；成膜于基材，亦于表面等离子体共振光纤感测组件的感测区形成膜层；利用光接收检测组件，接收表面等离子体共振光纤感测组件感测区的讯号，而输出光强度变化讯号。

主权项

一种膜厚变化的实时监测方法，包括：提供一镀膜模块及一膜厚监测模块，其中，该镀膜模块具有一腔室，该膜厚监测模块包括一表面等离子体共振光纤感测组件、一光源组件、一光接收检测组件及复数条光纤，其中，该些光纤连接该表面等离子体共振光纤感测组件与该光源组件以及该表面等离子体共振光纤感测组件与该光接收检测组件，该表面等离子体共振光纤感测组件具有一感测区且设置于该镀膜模块的该腔室内，且该光源组件提供光线予该表面等离子体共振光纤感测组件的该感测区；于该镀膜模块的该腔室中置入一基材；成膜于该基材，亦形成一膜层于该表面等离子体共振光纤感测组件的该感测区；利用该光接收检测组件，接收该表面等离子体共振光纤感测组件感测区的讯号，而输出光强度变化讯号。