[发明专利]背面照射式图像传感器的制造方法

摘要

一种背面照射式图像传感器的制造方法，包括如下步骤：通过贯穿第一衬底的正面注入离子而形成离子注入层；通过在第一衬底的正面上形成器件隔离区而限定像素区；在该像素区上形成感光器件和读出电路；在第一衬底的正面上形成层间介电层和金属线；将第二衬底与形成有金属线的第一衬底的正面接合；去除位于离子注入层下面的第一衬底的下部；在去除所述下部之后对第一衬底的背面进行湿蚀刻；以及在第一衬底的背面的感光器件上形成微透镜。根据本发明的方法能够稳定且有效地去除背面照射式图像传感器中的衬底的后侧。

主权项

一种背面照射式图像传感器的制造方法，包括如下步骤：通过将离子注入到第一衬底的正面而形成离子注入层；通过在所述第一衬底的正面上形成器件隔离区而限定像素区；在所述像素区上形成感光器件和读出电路；在所述第一衬底的正面上、在所述感光器件和所述读出电路上方形成层间介电层和金属线；将第二衬底与形成有所述金属线的所述第一衬底的正面接合；去除位于所述离子注入层下面的所述第一衬底的下部；在去除了所述第一衬底的下部之后对所述第一衬底的背面应用湿蚀刻；以及在所述第一衬底的背面的感光器件上形成微透镜。