[发明专利]一种真空机械手无效
| 申请号： | 200910266114.X | 申请日： | 2009-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102114628A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 卜俊鹏 | 申请（专利权）人： | 卜俊鹏 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08;B25J15/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100083 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种真空机械手由真空腔体，变形盘及指状夹持杆组成，变形盘密封地固定在真空腔端面；夹持杆固定地安装在变形盘边缘。当抽真空时，变形盘在大气压作用下产生向内变形，这使固连在变形盘边缘上的指状夹持杆也向中心倾斜，使指状夹持杆端头凹槽或环形浅槽间的距离变小，从而实现对基片边缘的夹持；断开真空指状夹持杆端头间的距离变大，真空机械手释放基片。由于夹持与释放基片，真空机械手都不与基片表面接触，因而不会对基片表面造成沾污；且本发明的真空机械手结构简洁，夹持可靠，控制、使用方便，因而本发明的真空机械手非常适合半导体自动生产线应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 机械手 | ||
【主权项】：
一种真空机械手由真空腔体，变形盘及指状夹持杆组成，其特征在于变形盘密封地固定在真空腔端面；夹持杆固定地安装在变形盘边缘。
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