[发明专利]检测金属线故障的方法和系统有效
| 申请号： | 200910266217.6 | 申请日： | 2009-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN101769886A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 粱基荣;金世荣 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01R19/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邵亚丽 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种检测全芯片中的金属线故障的方法和系统。在用于全芯片的检测金属线故障的方法中，第一网表被转换为第二网表。所述第一网表包括与元件和金属线有关的第一信息，所述第二网表包括允许直接电流分析的第二信息。通过对所述第二网表执行所述直接电流分析，计算金属线的电流密度。基于所述金属线的所述电流密度，检测金属线中的缺陷金属线。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 金属线 故障 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种检测全芯片中的金属线故障的方法，所述方法包括：将第一网表转换为第二网表，所述第一网表具有与元件和金属线对应的第一信息，且所述第二网表具有允许直接电流分析的第二信息；通过对所述第二网表执行直接电流分析来计算所述金属线的电流密度；和基于所述金属线的电流密度，检测所述金属线中的缺陷金属线。
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