[发明专利]电容式隔膜真空计和真空装置有效
| 申请号： | 200910266354.X | 申请日： | 2009-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN101776502A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 宫下治三 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘志强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种电容式隔膜真空计，其包括被配置成检测所述电容式隔膜真空计的倾斜角的倾斜角传感器。在电容膈膜计以第一倾斜角(+90°)、第二倾斜角(0°)、第三倾斜角(-90°)安装在真空装置上时，所得到的电容和电压的相关性事先存储在存储单元中。压力测量值然后基于由倾斜角传感器所检测到的所述倾斜角信息被校正，并且电容-压力特性数据在第一、第二和第三倾斜角时被实际测量，并且存储在电容式隔膜真空计中。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 隔膜 真空计 真空 装置 | ||
【主权项】：
一种电容式隔膜真空计，其包括：包括隔膜电极的真空密封室；固定电极，其设置在所述真空密封室内部以面对所述隔膜电极；以及倾斜角传感器，其被配置成检测所述电容式隔膜真空计的倾斜角。
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