[发明专利]一种横向剪切干涉成像装置

摘要

一种横向剪切干涉成像装置，属于激光干涉测量装置，解决现有干涉测量装置存在的问题，目的在于具备实时性和简单条纹特性，使用时便于调配且不受强载频影响。本发明包括在光路上依次位于同一条主光轴上的激光光源、扩束准直透镜组和平行平晶；平行平晶入射波面法向与出射波面法向之间构成的偏转角在0°～180°之间可调；扩束准直透镜组口径为40mm～100mm；平行平晶口径为50mm～100mm、厚度为20mm～40mm。本发明元件少、安装和调配过程简单快捷、具备实时性、抗震性强，得到简单的双曝光干涉条纹，适用于光学领域的畸变波面以及工程热物理领域的密度、浓度和温度等参数的实时的无损检测。

主权项

一种横向剪切干涉成像装置，包括激光光源、扩束准直透镜组、平行平晶，所述激光光源、扩束准直透镜组和平行平晶在光路上依次位于同一条主光轴上；其特征在于：所述平行平晶入射波面法向与出射波面法向之间构成的偏转角在0°～180°之间可调；所述扩束准直透镜组口径为40mm～100mm；所述平行平晶口径为50mm～100mm、厚度为20mm～40mm。