[发明专利]纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成装置及形成方法

摘要

本发明涉及一种纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成装置及形成方法。该方法包括：将导电待镀工件与第一电源供给器的负极相连，开启Q开关脉冲激光器，利用第一喷液装置将第一电解质镀液喷射至工件的待镀面，形成纳米级金属粒子镀层；将该导电待镀工件与第二电源供给器的负极相连，开启连续激光器，利用第二喷液装置将第二电解质镀液喷射至工件的待镀面，形成金属镀层。该方法利用激光电化学原理将电化学反应控制在入射区，通过激光配合电解液喷流于待镀工件表面形成金属镀层或纳米级粒子，配合利用脉冲激光和连续激光得到含纳米级金属粒子的金属镀层。该形成方法无需预先单独形成纳米级粒子，简化了镀层工艺。

主权项

一种纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成装置，其包括：具有承载面的承载装置，其用于承载导电待镀工件；纳米级金属粒子形成装置，其包括第一喷液装置、第一导光体、Q开关脉冲激光器、第一电源供给器，该第一喷液装置具有第一容置腔，包括第一顶壁和第一导电底壁，该第一顶壁设有与第一容置腔相通的第一安装孔，该第一导电底壁设有与第一安装孔相对的第一喷嘴，该第一导光体一端贯通该第一安装孔，且固定于第一顶壁，另一端延伸至该第一容置腔内，并与第一喷嘴相对，该Q开关脉冲激光器设于第一喷液装置上方，透过该第一导光体和第一喷嘴将脉冲激光入射至承载面内，该第一电源供给器的正极与该底壁相连，其负极用以与待镀工件相连；和金属镀层形成装置，其包括第二喷液装置、第二导光体、连续激光器、第二电源供给器，该第二喷液装置具有第二容置腔，包括第二顶壁和第二导电底壁，该第二顶壁设有与第二容置腔相通的第二安装孔，该第二导电底壁设有与第二安装孔相对的第二喷嘴，该第二导光体一端贯通该第二安装孔，且固定于第二顶壁，另一端延伸至该第二容置腔内，并与第一喷嘴相对，该连续激光器设于第二喷液装置上方，透过该第二导光体和第二喷嘴将连续激光入射至承载面内，该第二电源供给器的正极与该第二导电底壁相连，其负极用以与待镀工件相连。