[发明专利]镀膜装置

摘要

一种镀膜装置，其包括第一镀膜腔及承载组件。承载组件包括操作杆及两个固定于操作杆上并以操作杆对称分布的承载座。每个承载座用于固定一镀膜基板。第一镀膜腔包括两个并排设置的第一子腔体及第二子腔体。第一子腔体及第二子腔体与第一镀膜腔的底壁共同形成沿该第一子腔体及该第二子腔体排列方向延伸的第一通道，操作杆固定承载座的一端收容在第一通道内。第一子腔体及第二子腔体的底壁均开设有与第一通道相通的镀膜口。操作杆带动承载座在第一通道内以平行于第一镀膜腔的底壁旋转，并带动承载座沿垂直于第一镀膜腔的底壁移动，使两个承载座密封两个镀膜口并且使镀膜基板从镀膜口暴露在第一子腔体及第二子腔体内。所述镀膜装置能提升镀膜良率。

主权项

一种镀膜装置，其特征在于，该镀膜装置包括一个第一镀膜腔及一个承载组件，该承载组件包括一个操作杆及两个固定于该操作杆上并以该操作杆对称分布的承载座，每个承载座用于固定一镀膜基板，该第一镀膜腔包括两个并排设置的第一子腔体及第二子腔体，该第一子腔体及该第二子腔体与该第一镀膜腔的底壁共同形成一个沿该第一子腔体及该第二子腔体排列方向延伸的第一通道，该第一子腔体及该第二子腔体的底壁均开设有一个与该第一通道相通的镀膜口，该操作杆固定该承载座的一端收容在该第一通道内，该操作杆带动该承载座在该第一通道内以平行于该第一镀膜腔的底壁旋转，并带动该承载座沿垂直于该第一镀膜腔的底壁移动，使该两个承载座密封两个镀膜口并且使该镀膜基板从该镀膜口暴露在该第一子腔体及该第二子腔体内。