[发明专利]直拉单晶炉热场用石墨埚帮无效
| 申请号： | 200910302897.2 | 申请日： | 2009-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101560690A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 李定武;梁永生 | 申请（专利权）人： | 西安隆基硅材料股份有限公司;西安隆基硅技术有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安矽美单晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 | 代理人： | 罗 笛 |
| 地址： | 710100陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直拉单晶炉热场用石墨埚帮，包括埚托及放置在埚托上围成锅状的侧板，侧板由构成锅沿的直立部分和构成锅底的倾斜部分组成，其中的侧板由等分的2～6瓣组成，每瓣构成锅底的倾斜部分的下边沿设置成圆弧形缺口，侧板的各瓣的圆弧形缺口同心围成一圆口，并且该圆口与埚托同轴，圆口内设置有一上小下大的圆锥台形的底板，圆口的形状设置与底板的形状相适应。本发明的石墨埚帮适应了石英坩埚的加热变形以及发生墩埚事故时的膨胀变形，有效地提高了对石英坩埚的支撑能力，提高了石墨埚帮的使用寿命，降低了制作和使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉单晶炉热场用 石墨 | ||
【主权项】：
1.一种直拉单晶炉热场用石墨埚帮，包括埚托(7)及放置在埚托(7)上围成锅状的侧板(5)，侧板(5)由构成锅沿的直立部分和构成锅底的倾斜部分组成，其特征在于：所述的侧板(5)由等分的2～6瓣组成，每瓣构成锅底的倾斜部分的下边沿设置成圆弧形缺口，侧板(5)的各瓣的圆弧形缺口同心围成一圆口(9)，并且该圆口(9)与埚托(7)同轴，所述的圆口(9)内设置有一上小下大的圆锥台形的底板(6)，圆口(9)的形状设置与底板(6)的形状相适应。
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