[发明专利]一种微纳放电加工微三维结构的方法和系统

摘要

本发明属于微纳制造技术领域，涉及一种微纳放电加工微三维结构的方法：(1)将导电性的纳米线或纳米管固定到导电材料制成的探针针尖上作为电极；(2)将电极夹持装置置于位移台上，并通过多轴运动控制器对位移台的移动进行控制；(3)将导电材料工件置于X/Y精密位移台上，由多轴运动控制器控制X/Y精密位移台的移动；(4)将脉冲电源的负极接到探针上，其正极接到工件上；(5)利用工控机向多轴运动控制卡发送指令，控制放置有电极夹持装置的位移台，由脉冲电源提供放电加工的工作电压，并由间隙电压检测装置采集放电间隙电压，工控机则根据间隙电压控制电极进给位移台的移动。本发明使放电加工的尺寸达到微米、纳米级，同时解决了加工过程的排屑问题。

主权项

1.一种微纳放电加工微三维结构的方法，用于在导电材料上加工微纳三维结构，其特征在于，包括下列步骤：(1)导电性的纳米线或纳米管固定到导电材料制成的探针针尖上，并将探针固定在电极夹持装置上；(2)将电极夹持装置置于具有纳米级分辨率的电极进给位移台上；(3)将导电材料工件置于X/Y精密位移台上；(4)将脉冲电源的负极接到探针上，其正极接到工件上；(5)利用多轴运动控制器控制放置有电极夹持装置的位移台，由脉冲电源提供放电加工的工作电压，并由放电间隙电压采集装置采集放电间隙电压，采集到的数据被送入工控机内，由工控机根据间隙电压判断当前放电加工的状态，并通过多轴运动控制器控制电极进给位移台的移动，从而实现稳定的纳米放电加工微纳三维结构过程；并工控机通过多轴运动控制器控制X/Y精密位移台的移动，实现对工件位置的调整和加工轨迹的控制。