[发明专利]一种基于平行平晶分偏振光束及相移干涉术的精密晶圆检测方法和装置无效
| 申请号： | 200910309186.8 | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN101666630A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 姚勇;宋菲;孙云旭;安宏宇 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N13/00 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518055广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于平行平晶分偏振光束及相移干涉术的精密晶圆检测装置，包括光源、空间滤波器、扩束器、起偏器、消偏振分光棱镜、平行平晶、1／4波片和检偏器，所述的光源、空间滤波器、扩束器、起偏器依次顺序设置在第一光轴，所述的检偏器、1／4波片、消偏振分光棱镜、平行平晶和外部的待测物表面依次顺序设置在第二光轴，所述的第一光轴和第二光轴垂直。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 平行 平晶分 偏振 光束 相移 干涉 精密 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于平行平晶分偏振光束及相移干涉术的精密晶圆检测装置，其特征在于：包括光源、空间滤波器、扩束器、起偏器、消偏振分光棱镜、平行平晶、1/4波片和检偏器，所述的光源、空间滤波器、扩束器、起偏器依次顺序设置在第一光轴，所述的检偏器、1/4波片、消偏振分光棱镜、平行平晶和外部的待测物表面依次顺序设置在第二光轴，所述的第一光轴和第二光轴垂直。
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