[发明专利]谐振增强远红外探测器的制备方法无效
| 申请号： | 200910309228.8 | 申请日： | 2009-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN101697365A | 公开（公告）日： | 2010-04-21 |
| 发明（设计）人： | 郑美妹;张月蘅;沈文忠 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/101;H01L31/0232 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种半导体技术领域的谐振增强远红外探测器的制备方法，包括：确定要生长的探测器类型和反射镜的结构：探测器的类型是同质结内光发射探测器，顶部反射镜是由空气与探测器形成的界面，而底部反射镜是在远红外波段反射率高且相位匹配的反射镜；利用菲涅尔系数矩阵和介电函数模型，通过数值计算得到腔体内的量子效率，通过使谐振腔内的量子效率最大化，得到优化的探测器和底部反射镜的结构参数和材料参数；根据得到优化的参数，用分子束外延法生长谐振增强远红外探测器。本发明克服远红外探测器的量子效普遍偏低的不足，大大得提高该探测器的量子效率。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 增强 红外探测器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种谐振增强远红外探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步、确定要生长的探测器类型和反射镜的形式：探测器的类型是同质结内光发射探测器，顶部反射镜是由空气与探测器形成的界面，而底部反射镜是在远红外波段反射率高且相位匹配的反射镜；第二步、利用菲涅尔系数矩阵和介电函数模型，通过数值计算得到腔体内的量子效率，通过使谐振腔内的量子效率最大化，得到优化的探测器和底部反射镜的结构参数和材料参数；第三步、根据得到优化的参数，用分子束外延法生长谐振增强远红外探测器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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