[发明专利]提拉法晶体生长自动控制装置无效
| 申请号： | 200910310313.6 | 申请日： | 2009-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101831692A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 肖兵;王国强;周世斌;石全洲 | 申请（专利权）人： | 成都东骏激光股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/24 | 分类号： | C30B15/24 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 彭立琼 |
| 地址： | 611630 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提拉法晶体生长自动控制装置，包括支撑座、籽晶杆、称重室、重量传感器、滑动接触器、冷却水套、籽晶杆定位盘；称重室位于支撑座上部，称重室底壁与支撑座之间固连有轴承座，称重室外壁连接传动装置；滑动接触器固连于称重室上端，重量传感器固连于称重室的腔室上部，重量传感器的信号线穿过滑动接触器与控制器连接，控制器的输出端与温控仪连接；籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器软连接，其另一端穿过固连在支撑座下部的冷却水套和固连于冷却水套底部的籽晶杆定位盘。通过控制器采集的籽晶的重量信息来控制晶体生长的温控装置，从而实现对生长过程的自动化控制。可以减少人为误差，提高产品质量，降低人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 提拉法 晶体生长 自动控制 装置 | ||
【主权项】：
一种提拉法晶体生长自动控制装置，包括支撑座、传动装置、穿过支撑座的籽晶杆、温控仪，其特征在于：还包括称重室、重量传感器、轴承座、滑动接触器、冷却水套、籽晶杆定位盘、控制器；所述称重室位于支撑座上部，称重室底壁与支撑座之间固连有轴承座，称重室外壁连接传动装置；所述滑动接触器固连于称重室上端，所述重量传感器固连于称重室的腔室上部，重量传感器的信号线穿过滑动接触器与控制器连接，所述控制器的输出端与温控仪连接；籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器软连接，其另一端穿过固连在支撑座下部的冷却水套和固连于冷却水套底部的籽晶杆定位盘。
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