[发明专利]一种增加直拉硅单晶装料量的方法及装置无效
申请号: | 200910310766.9 | 申请日: | 2009-12-02 |
公开(公告)号: | CN101713096A | 公开(公告)日: | 2010-05-26 |
发明(设计)人: | 梁永生;周晓渊;李定武 | 申请(专利权)人: | 西安隆基硅材料股份有限公司;西安隆基硅技术有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安矽美单晶硅有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种增加直拉硅单晶装料量的方法,利用热屏中间的晶体生长空间装料,即在坩埚内装满多晶原料后,将装料筒放入热屏中,在装料筒的下段外表面设置有若干固定脚,固定脚支撑在热屏上,装料筒处于热屏中的最低位,在装料筒内继续装入多晶原料,直至装料筒内装满多晶原料后,将装料筒上的吊臂与重锤夹头连接,实现装料筒的升降。装料筒的截面为逐级向上缩小的塔形形状,并且上下通透,其外表面最大直径小于单晶炉主副炉室之间喉口的直径。本发明还公开了一种上述方法使用的装置,本发明的方法及装置,充分利用热屏中间的晶体生长空间装料,通过该装置增加了实际的装料量,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 增加 直拉硅单晶 装料 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种增加直拉硅单晶装料量的方法,其特征在于:利用热屏中间的晶体生长空间增加装料量。
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