[发明专利]真空溅镀偏压传导装置及真空溅镀设备无效
| 申请号： | 200910311993.3 | 申请日： | 2009-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102102180A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 吴佳颖 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种真空溅镀偏压传导装置，用于连接施加偏压的电极及真空溅镀设备中的基板载台。所述真空溅镀偏压传导装置包括一个接触件以及一个与所述接触件相连的弹性支撑件。所述接触件包括一个中轴，一个套设于所述中轴上的能够滑动的柔性套，一个设置于所述中轴与所述柔性套之间的柔性保持件，以及多个设置于所述柔性套于所述中轴之间且被所述保持件彼此间隔的滚动件。所述中轴、所述滚动件与所述柔性套均具有导电性，所述柔性套的外表面用于与所述基板载台表面相接触，所述中轴用于与所述电极相连。所述的真空溅镀偏压传导装置减少了传导过程中传导装置的磨损，能够增加传导装置的使用寿命，同时可以减少由于摩擦产生的粉尘，提高镀膜品质。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 偏压 传导 装置 设备 | ||
【主权项】：
一种真空溅镀偏压传导装置，用于连接施加偏压的电极及真空溅镀设备中的基板载台，所述真空溅镀偏压传导装置包括：一个接触件以及一个与所述接触件相连的弹性支撑件，其特征在于：所述接触件包括一个中轴，一个套设于所述中轴上的能够滑动的柔性套，一个设置于所述中轴与所述柔性套之间的柔性保持件，以及多个设置于所述柔性套于所述中轴之间且被所述保持件彼此间隔的滚动件，所述中轴、所述滚动件与所述柔性套均具有导电性，所述柔性套的外表面用于与所述基板载台表面相接触，所述中轴用于与所述电极相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910311993.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多功能椅子
- 下一篇：检测单纯疱疹病毒Ⅱ型荧光PCR试剂盒
- 同类专利
- 专利分类
