[发明专利]同时监控多种状态的基于表面声波的微传感器装置和方法无效
| 申请号： | 200911000135.3 | 申请日： | 2009-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101793531A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | C·卡比亚努;I·佩夫勒斯库;M·戈罗加努 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01K11/26;G01H11/08;G01P15/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;李家麟 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及同时监控多种状态的基于表面声波的微传感器装置和方法。公开了一种基于SAW的微传感器装置，其利用构造成SAW设备(例如，SAW谐振器或SAW延迟线)的感测元件同时监控加速度/振动和温度。该SAW设备相对于包含惯性质量的薄压电隔膜设置在基片上的不同位置上。温度补偿加速度/振动利用加速度敏感型SAW谐振器(例如，SAW-g)和温度敏感型SAW谐振器(例如，SAW-T)之间的频率差异而被测量。温度利用由SAW-T和温度参考SAW谐振器(例如，SAW-R)提供的频率偏移而被测量。同样，SAW延迟线的不同反射器的相位响应用于差动测量加速度/振动和温度。 | ||
| 搜索关键词： | 同时 监控 多种 状态 基于 表面 声波 传感器 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种SAW传感器(100，400，500，600，700)，包括：压电基片(140)，限定了：隔膜(160)和边缘(220)，其中该边缘(220)支承该隔膜(160)；该隔膜(160)具有位于较厚的惯性质量区域(270)的外围附近的一个或多个较薄区域，该较厚的惯性质量区域(270)厚于该一个或多个较薄区域，且在该传感器运行期间保持相对无应力；该边缘(220)在隔膜(160)周围延伸，并连接到该隔膜的该一个或多个较薄区域，该边缘(220)厚于该隔膜(160)的该一个或多个较薄区域，且在该传感器运行期间保持相对无应力；叉指换能器(650，750)，位于该压电基片(140)上，用于在该压电基片(140)中产生表面声波；第一反射器(110，630，740)，位于该隔膜(160)的一个或多个较薄区域上，该第一反射器(110，630，740)被构造成将由该叉指换能器(650，750)产生的表面声波中的至少一些反射回该叉指换能器(650，750)；以及第二反射器(120，130，640，660，670，730)，位于该边缘或者该隔膜(160)的较厚惯性质量区域(270)上，该第二反射器(120，130，640，660，670，730)被构造成将由该叉指换能器(650，750)产生的表面声波中的至少一些反射回该叉指换能器(650，750)。
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