[实用新型]多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构无效
申请号: | 200920006422.4 | 申请日: | 2009-03-03 |
公开(公告)号: | CN201374825Y | 公开(公告)日: | 2009-12-30 |
发明(设计)人: | 周积卫;李东曦;张华芹;郝振良 | 申请(专利权)人: | 上海森和投资有限公司 |
主分类号: | H05B3/14 | 分类号: | H05B3/14;H05B3/24;H05B3/64;C01B33/107 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵 军 |
地址: | 201323上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构,该加热带结构包括石墨头,石墨垫块、碳/碳复合材料加热带和紧固螺栓,所述碳/碳复合材料加热带整体弯制成拱门形,碳/碳复合材料加热带的两个端头被石墨头和石墨垫块夹持,并通过紧固螺栓固定,所述碳/碳复合材料加热带的截面形状为折角形或弧形。本实用新型多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构的有益效果是,折角形或弧形的横截面型式增加了加热带的抗弯模量,有效防止了由于加热带弯曲、倒伏产生的电极短路现象,同时能够起到对气体的引流作用,使气体沿加热带向上运动,延长了混合气体在氢化炉内的反应时间,提高了SiHCl3的产率,保证设备的稳定运行。 | ||
搜索关键词: | 多晶 氢化 炉用碳 复合材料 热带 结构 | ||
【主权项】:
1、一种多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构,该结构包括石墨头(1)、石墨垫块(2)、碳/碳复合材料加热带(4),其特征在于:所述碳/碳复合材料加热带(4)整体弯制成拱门形,碳/碳复合材料加热带的两个端头被石墨头和石墨垫块夹持,并通过紧固螺栓(3)固定,所述碳/碳复合材料加热带(4)的截面形状为折角形或弧形。
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