[实用新型]剪切力测试装置有效
| 申请号： | 200920008256.1 | 申请日： | 2009-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN201382828Y | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 黄蓉 | 申请（专利权）人： | 黄蓉 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 | 代理人： | 胡清方 |
| 地址： | 518000广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种剪切力测试装置，包括一个可上下移动的基板，在所述基板上设有弹性体，所述弹性体具有一个可朝向或远离所述基板移动的自由端，测试头连接在所述自由端上，所述弹性体是一个水平对称结构弹性体，所述自由端位于所述水平对称结构弹性体的对称线上，在所述测试头上方设有一个用于固定所述测试头的压紧机构；所述自由端和基板之间设有便于自由端和连接于其上的测试头一起上下移动的间隙，当所述测试头定位准确后，在所述压紧机构的作用下，所述自由端紧靠在所述基板上，固定所述测试头。本实用新型具有在剪切力测试过程中，接触定位位置不会发生水平方向的偏移，保证在细线间距或极细线间距半导体剪切力测试中极端精密定位的要求，具有测试可靠性和精准性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 剪切 测试 装置 | ||
【主权项】：
1.一种剪切力测试装置，包括一个可上下移动的基板，在所述基板上设有弹性体，所述弹性体具有一个可朝向或远离所述基板移动的自由端，测试头连接在所述自由端上，其特征在于：所述弹性体是一个水平对称结构弹性体，所述自由端位于所述水平对称结构弹性体的对称线上，在所述测试头上方设有一个用于固定所述测试头的压紧机构；所述自由端和基板之间设有便于自由端和连接于其上的测试头一起上下移动的间隙，当所述测试头定位准确后，在所述压紧机构的作用下，所述自由端紧靠在所述基板上，固定所述测试头。
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