[实用新型]Z轴中空直线驱动器有效
| 申请号： | 200920011034.5 | 申请日： | 2009-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN201354835Y | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 郭方准 | 申请（专利权）人： | 大连齐维科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F16H25/20 | 分类号： | F16H25/20 |
| 代理公司： | 大连科技专利代理有限责任公司 | 代理人： | 于忠晶 |
| 地址： | 116023辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空设备。Z轴中空直线驱动器，上法兰与下法兰焊接波纹管，上法兰一体连接外管，外管滑动套装内管，内管底部固定连接下法兰。本实用新型Z轴中空直线驱动器是实现超高真空环境中样品精确直线驱动和外部信号导入超高真空的重要手段。采用焊接波纹管及上下法兰来实现真空密封，达到放出气体少的要求，法兰与内管、外管连接并由其驱动直线运动，运动顺畅，螺纹连接驱动直线驱动位置控制精确，中空构造可向超高真空中导入各种要素，比如电流和气体等，法兰采用金属刀口法兰，适合超高真空密封，与真空连接部件采用金属部件，可耐高温烘烤。 | ||
| 搜索关键词： | 中空 直线 驱动器 | ||
【主权项】：
1、Z轴中空直线驱动器，其特征是：上法兰与下法兰焊接波纹管，上法兰一体连接外管，外管滑动套装内管，内管底部固定连接下法兰。
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