[实用新型]简易型蒸发器有效
| 申请号： | 200920011046.8 | 申请日： | 2009-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN201386134Y | 公开（公告）日： | 2010-01-20 |
| 发明（设计）人： | 郭方准 | 申请（专利权）人： | 大连齐维科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 大连科技专利代理有限责任公司 | 代理人： | 于忠晶 |
| 地址： | 116023辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空设备。简易型蒸发器，回转导入器导入棒真空端固定安装遮板，遮板位于坩埚上方，坩埚上缠绕有加热丝，加热丝接通电极。本实用新型蒸发器可蒸发绝大多数金属，坩埚的材质为氧化铝，可耐1800摄氏度的高温，而且放出气体少，热源采用高熔点的钨丝，通电加热，使用方式简单，安装蒸发遮挡板，可以控制蒸发的时机，同时也可以确保蒸发的质量，蒸发遮挡板的驱动靠超高真空旋转驱动器实现，可以人工从外界控制，和真空接触部件选用材质适合超高真空环境的使用，简易蒸发源可耐高温烘烤，整体构造独特且操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 简易 蒸发器 | ||
【主权项】：
1、简易型蒸发器，其特征是：回转导入器导入棒真空端固定安装遮板，遮板位于坩埚上方，坩埚上缠绕有加热丝，加热丝接通电极。
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