[实用新型]一种电子束安全引出装置无效
| 申请号： | 200920025942.X | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN201465583U | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 沈松;王剑钢;郭志峰;侯志强;田小建;张岩松;赵旭东 | 申请（专利权）人： | 山东蓝孚电子加速器技术有限公司 |
| 主分类号： | G21K5/04 | 分类号： | G21K5/04 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 李桂存 |
| 地址： | 250000 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种电子束安全引出装置，包括扫描盒和钛窗窗体，所述钛窗窗体包括位于上层的第一法兰盘、位于下层的第二法兰盘和通过螺丝固定于两个法兰盘之间的窗夹板；第一法兰盘与窗夹板之间设有第一钛膜，第二法兰盘与窗夹板之间设有第二钛膜；扫描盒、第一法兰盘和第一钛膜之间密封形成第一真空空间；第一钛膜、窗夹板和第二钛膜之间密封形成第二真空空间；第一真空空间和第二真空空间分别连接有真空监测报警系统；所述钛窗窗体外壁设有复合式散热系统。本实用新型不仅更好地保持了装置内的真空度，而且减轻了钛膜过大的外界压力，有利于延长钛膜使用寿命。同时，能够及时准确的发现钛膜出现的问题，便于工作人员检查与维修，以保证辐照装置的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 安全 引出 装置 | ||
【主权项】：
一种电子束安全引出装置，包括扫描盒(1)和钛窗窗体，其特征在于：所述钛窗窗体包括位于上层的第一法兰盘(2)、位于下层的第二法兰盘(3)和通过螺丝(4)固定于两个法兰盘之间的窗夹板(7)；第一法兰盘(2)与窗夹板(7)之间设有第一钛膜(5)，第二法兰盘(3)与窗夹板(7)之间设有第二钛膜(6)；扫描盒(1)、第一法兰盘(2)和第一钛膜(5)之间密封形成第一真空空间；第一钛膜(5)、窗夹板(7)和第二钛膜(6)之间密封形成第二真空空间；第一真空空间和第二真空空间分别连接有真空监测报警系统；所述钛窗窗体外壁设有复合式散热系统。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东蓝孚电子加速器技术有限公司，未经山东蓝孚电子加速器技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920025942.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高性能瓶装载物架
- 下一篇：一种用于硅片刻蚀反应腔室清洗的方法
