[实用新型]多晶硅结晶质量检测装置无效
| 申请号： | 200920028953.3 | 申请日： | 2009-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN201444141U | 公开（公告）日： | 2010-04-28 |
| 发明（设计）人： | 刘丰 | 申请（专利权）人： | 济宁凯伦光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 273517 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅结晶质量检测装置，包括衬底，所述衬底斜上方设置有激光光源，所述激光光源的光路上设置有可形成第一光束和第二光束的分光器，所述第一光束的光路上设置有第一光强度检测器，所述第二光束于衬底的折射光路上设置有第二光强度检测器，所述第一光强度检测器与第二光强度检测器共同连接有计算单元。本实用新型能够快速、精确的检测多晶硅薄膜结晶质量，从而取代原有的破坏性检测方式，更加有效的监控多晶硅薄膜质量，同时还能够提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 结晶 质量 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅结晶质量检测装置，包括衬底，其特征在于，所述衬底斜上方设置有激光光源，所述激光光源的光路上设置有可形成第一光束和第二光束的分光器，所述第一光束的光路上设置有第一光强度检测器，所述第二光束于衬底的折射光路上设置有第二光强度检测器，所述第一光强度检测器与第二光强度检测器共同连接有计算单元。
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