[实用新型]CCD智能图像控径装置

摘要

CCD智能图像控径装置，包括拉晶过程控制器8，拉晶过程控制器8分别与埚转控制单元7、CCD直径测量单元2、埚升控制单元5、晶转控制单元6相连，埚转控制单元与埚转电机10相连，埚升控制单元5与埚升电机12相连，晶转控制单元6与晶转电机13相连，CCD直径测量单元2与直径信号处理器9相连，直径信号处理器9与直径控制器1相连，直径控制器1和晶升控制单元4相连，晶升控制单元4与晶升电机11相连，晶升电机11与温校控制器3相连，温校控制器3与功率柜14相连，在拉晶的过程中，通过拉晶过程控制8对晶体的拉晶过程进行控制，使得自动化程度大幅度提高。

主权项

1、CCD智能图像控径装置，其特征在于，包括拉晶过程控制器(8)，拉晶过程控制器(8)的输出端分别与埚转控制单元(7)的输入端、CCD直径测量单元(2)的输入端、埚升控制单元(5)的输入端、晶转控制单元(6)的输入端相连，埚转控制单元(7)的输出端与埚转电机(10)的输入端相连，埚升控制单元(5)的输出端与埚升电机(12)的输入端相连，晶转控制单元(6)的输出端与晶转电机(13)的输入端相连，CCD直径测量单元(2)的输出端与直径信号处理器(9)的输入端相连，直径信号处理器(9)的输出端与直径控制器(1)的输入端相连，直径控制器(1)的输出端和晶升控制单元(4)的输入端相连，晶升控制单元(4)的的输出端与晶升电机(11)的输入端相连，晶升电机(11)的输入端与温校控制器(3)的输出端相连，温校控制器(3)的输出端与功率柜(14)的输入端相连。