[实用新型]一种坩埚有效
申请号: | 200920036227.6 | 申请日: | 2009-03-09 |
公开(公告)号: | CN201358322Y | 公开(公告)日: | 2009-12-09 |
发明(设计)人: | 李云霞;程宜红;范力 | 申请(专利权)人: | 常州有则科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所 | 代理人: | 孙 彬 |
地址: | 213022江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种直拉法硅单晶炉用的坩埚,埚体包括埚体和托盘,埚体由2瓣或2瓣以上侧壁和一个埚底组成,侧壁围合成一薄壁柱形,埚底活套在侧壁内壁的底部,侧壁内壁下部的圆弧与埚底上表面平滑衔接。埚底上部为柱形或锥形,下部为倒锥形;埚底上表面为凹弧面,下表面为平面。埚体底部有凸台,托盘有盘边和盘体,埚体底部的凸台坐落在托盘内的盘体上,托盘的盘边与埚体下部相配合。这种坩埚由多瓣侧壁和埚底组成,可以在高低温差距大的使用环境下,具有更大的抗热应力能力,侧壁和埚底的圆弧连接处不易产生裂纹,从而提高了坩埚的热稳定性和硅单晶炉的设备安全可靠性。此外由于延长了硅单晶炉坩埚的使用寿命,也就降低了硅单晶的提炼成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 坩埚 | ||
【主权项】:
1、一种坩埚,包括埚体(1)和托盘(2),其特征在于:埚体(1)包括2瓣或2瓣以上侧壁(1-1)和一个埚底(1-2),侧壁(1-1)围合成一薄壁柱形,埚底(1-2)活套在侧壁(1-1)内壁的底部,侧壁(1-1)内壁下部的圆弧与埚底(1-2)上表面平滑衔接,侧壁(1-1)底面与埚底(1-2)底面平滑衔接。
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