[实用新型]单晶炉的下炉体结构无效
申请号: | 200920039689.3 | 申请日: | 2009-04-20 |
公开(公告)号: | CN201395640Y | 公开(公告)日: | 2010-02-03 |
发明(设计)人: | 潘燕萍;潘国强 | 申请(专利权)人: | 潘燕萍;潘国强 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 | 代理人: | 何学成 |
地址: | 213129江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及制造单晶硅用设备领域,尤其是用于制造单晶装置的一个下炉体结构。该炉体为中空圆柱状炉体,炉体的两端分别设置有法兰,炉体内壁设置有夹层,炉体外壁设置有进水口座、出水口座与夹层相连通,法兰与炉体端部焊接连接。本实用新型的有益效果是延长了下炉体的使用寿命,减少了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 下炉体 结构 | ||
【主权项】:
1、单晶炉的下炉体结构,该炉体为中空圆柱状炉体,炉体的两端分别设置有法兰,其特征在于:炉体内壁设置有夹层,炉体外壁设置有进水口座、出水口座与夹层相连通,法兰与炉体端部焊接连接。
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